i黑马讯 近日，北京中科慧仪科技有限公司（怀柔黑马科技加速实验室五期成员企业）获得中科光荣基金、怀柔硬科技基金及战略投资方联合投资。这一里程碑事件不仅为中科慧仪注入了强大的发展动力，也标志着中科光荣基金在科技创新领域的又一次飞跃。
据悉，中科慧仪是一家专注于半导体量检测核心模组研发与销售的科技型企业。公司凭借全球领先的光电算控全栈技术，为市场提供高精度、高效率的解决方案，致力于加速半导体产业的国产化进程，打破国外技术垄断。公司团队成员具备多年光学检测领域从业经验，对行业具有深刻且独到的理解，是企业快速发展并占据行业一席之地的根基。
半导体量检测设备是集成电路制造工艺中不可缺少的组成部分，贯穿于集成电路领域生产过程的每一个环节。它们在芯片设计、生产、封装和测试等各个环节中扮演着关键角色，确保半导体器件的质量和性能。中科慧仪创立以来深耕半导体领域，专注行业关键场景需求，以技术创新推动应用升级。公司主要产品有：
显微自动聚焦系统：广泛应用于晶圆有图/无图检测、第三代化合物半导体检测、关键尺寸测量及面板微裂纹检测等场景；
全系列干涉物镜：全系列产品自研自产，突破了国外技术垄断；
超高分辨率振镜相机：集高速扫描与超高分辨率于一体，最高分辨率16亿；
宽视场在线干涉测量仪：220ms内完成超大视场纳米级三维重建，可应用于半导体在线量测场景。
（图1：无图形/有图形晶圆。资料来源：《晶圆表面缺陷自动检测技术的研究》倪天宇）
目前，全球半导体量/检测设备市场处于寡头垄断的局面，市场集中度较高，美、日欧技术相对领先。中国半导体量/检测设备行业整体国产化率的提升还处于起步阶段，目前国内半导体生产厂商所使用的半导体量/检测设备仍主要依赖进口。据了解，中科慧仪作为行业的创新驱动者，始终以“聚焦终端场景，专注高附加值产品”为发展战略，以客户需求为导向，不断深化产品研发与市场布局。企业创始人兼总经理袁智超表示“我们不仅致力于服务中国半导体产业，更期望通过持续的技术积累，为全球产业链注入新的活力。”
（图2:中科慧仪公司部分产品图示）
随着半导体技术的不断进步，对量/检测设备的要求也日益提高，这不仅涉及到精度和速度，还包括对复杂工艺流程的适应能力。技术发展路径包括高精度化、多功能化、智能化和自动化。未来，中科慧仪将继续以开放的姿态拥抱全球合作，坚持自主创新与产业协同发展，助力中国半导体从追赶到引领，成为全球半导体量检测核心模组的标杆企业。
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